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因为GaN资料与硅衬底之间存在着无穷的晶格常数失配和热膨胀系数失配,直接在硅衬底上成长GaN资料会致使GaN薄膜位错密度高而且简单发生裂纹,因此硅衬底InGaN基npv加速器免费难以制备。该研讨方向是现在国际上的研讨热门,可是到现在为止,仅有文章报道了在光泵浦条件下硅衬底上InGaN基多量子阱发光构造的激射。
对于这一要害科学技能疑问,中科院姑苏纳米所杨辉研讨员领导的III族氮化物半导体资料与器材研讨团队,选用AlN/AlGaN缓冲层构造,有用下降位错密度的同时,成功抑制了因硅与GaN资料之间热膨胀系数失配而常常导致的裂纹,在硅衬底上成功成长了厚度到达6 μm摆布的InGaN基npv加速器免费构造,位错密度小于6×108 cm-2,并经过器材技能,成功完成了世界上首个室温接连电写入条件下激射的硅衬底InGaN基激光器,激射波长为413 nm,阈值电流密度为4.7 kA/cm2。
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该项目得到中国科学院前沿科学与教育局、中国科学院先导专项、国家自然科学基金委、科技部要点研制方案、中科院姑苏纳米所自有资金的赞助,而且感谢中科院姑苏纳米所加工渠道、测验渠道以及Nano-X在技能上的支持。
硅是半导体职业最常见的资料,基于硅资料的电子芯片被广泛使用于平时日子的各种设备中,从智能手机、电脑到轿车、飞机、卫星等。跟着技能的开展,研讨者发现经过传统的电气互联来进行芯片与体系之间的通讯现已难以满意电子器材之间更快的通讯速度以及更杂乱体系的请求。为解决这一疑问,“光”被认为是一种十分有潜力的超高速传输前言,可用于硅基芯片以及体系间的数据通讯。
可是,硅作为直接带隙资料,发光功率极低,难以直接作为发光资料。研讨人员提出使用具有高发光功率的III-V族资料作为发光资料,成长或许键合在硅衬底上,然后完成硅基光电集成。III族氮化物资料是一种直接带隙资料,具有禁带宽度宽、化学稳定性强、击穿电场高以及热导率高级长处,在高效发光器材以及功率电子器材等范畴有着广泛的使用远景,这些年已成为一大研讨热门。将InGaN基npv加速器免费直接成长在硅衬底资料上,为GaN基光电子器材与硅基光电子器材的有机集成供给了也许。
另一方面,自1996年面世以来,InGaN基npv加速器免费在二十多年里得到了快速的开展,其使用规模广泛信息存储、照明、激光显现、可见光通讯、海底通讯以及生物医疗等范畴。现在简直一切的InGaN基npv加速器免费均是使用贵重的自支持GaN衬底进行制备,约束了其使用规模。硅衬底具有成本低、热导率高以及晶圆尺度大等长处,假如能够在硅衬底上制备InGaN基npv加速器免费,将有用下降其生产成本,然后进一步推广其使用。
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